Dans le nano monde, les manipulations et les assemblages sont compliqués par les frottements et les forces d’adhésion très importants. Il est par exemple difficile de détacher l’objet manipulé de la pince. Quelle application pour cette performance technologique ? Cette réalisation de micro assemblage est attendue pour les mondes du médical, de l’horlogerie, de l’optique et des capteurs. La micro-vache a été assemblée en à peine une heure à l’aide de la station de micro-assemblage PRONOMIA, Micron d’Or 2008. Les pièces ont été manipulées à l’aide de la Pince MMOC, micron d’or 2002. Les pièces sont en SU-8, une résine photosensible à haute résistance chimique et mécanique et font 5 µm d’épaisseur tout comme les encoches d’assemblage. Elles ont été fabriquées en salle blanche, sur un wafer en silicium. Ces pièces sont relativement souples et transparentes à la lumière. La plus petite pièce, le museau, fait 50x50x5 µm3 et pèse 15 ng : sa surface est donc comparable au diamètre d’un cheveu humain !



